电感耦合等离子体发射光谱仪是以射频发生器提供的高频能量加到感应耦合线圈上，并将等离子炬管置于该线圈中心，因而在炬管中产生高频电磁场，用微电火花引燃，使通入炬管中的氩气电离，产生电子和离子而导电，导电的气体受高频电磁场作用，形成与耦合线圈同心的涡流区，强大的电流产生的高热，从而形成火炬形状的并可以自持的等离子体，由于高频电流的趋肤效应及内管载气的作用，使等离子体呈环状结构。
电感耦合等离子体光谱仪是建立在调制原理上的仪器，经典光谱仪器都是狭缝光谱仪器，对工作条件有一定的要求，下面作下简单的介绍：
电感耦合等离子体光谱仪工作的基本条件：
1.rf系统能够输出持续、稳定、合适的能量到工作线圈。
2.炬管安装良好且通有纯净、流量适宜的氩气。
3.点火装置向气体中释放适当的电荷。
4.如果其中某个条件没有满足则仪器不能正常点火。
另外，电感耦合等离子体光谱仪的功率放大部分的核心部件为功率它是一个大功率的真空电子管，内部有一细长的灯丝，当灯
丝通电而RF系统未工作时，电流就会让灯丝发热并发射热电子。
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