在近代物理学中，等离子体为一种较为普通的概念，为在一定程度上被电离(电离度比0.1%要大)的一种气体，其中阳离子与电子的浓度处于平衡状态，从宏观上来讲，是一种呈电中性的物质。
利用电感耦合等离子体作为激发光源，通过处于激发态的待测元素原子回到基态时发射的特征谱线分析待测元素的仪器，被称为电感耦合等离子发射光谱仪。
电感耦合等离子体发射光谱仪的原理如下
高频电磁场在矩管外高频线圈产生，在高频电磁场中，高纯氩气失去电子，该电子对待测样品进行轰击，样品的各元素发生跃迁，具有一定的特征谱线的光被发射出来。
这种特征谱线利用检测器探测出来，并且其强度也被检测出来，该元素能够被定性分析以及该元素的浓度能够被定量计算。
样品的各元素产生跃迁，发射出具有一定的特征谱线的光。通过检测器探测这种特征谱线并检测其强度，可以定性分析元素和定量计算该元素的浓度。
电感耦合等离子体为通过高频电流从感应线圈经过使得高频电磁场产生，从而使工作气体形成等离子体，并且火焰状放电(等离子体焰炬)呈现出来，温度达到10000K时，为一个具有良好的蒸发-原子化-激发-电离性能的光谱光源。
而且因为这种等离子体焰炬的结构呈环状，对于从等离子体zhong心通道进样并且使得火焰维持稳定具有积极的作用;较低的的载气流速(比1升/分低)就能够将ICP穿透，如果在zhong心通道使样品停留2-3毫秒的时间，能够*蒸发、原子化。
和任何火焰或电弧火花的温度相比较，ICP环状结构的zhong心通道的温度都要更高，为原子、离子的激发温度，在中心通道内，分析物被间接加热，对ICP放电性质有着较小的影响。
ICP光源又是一种光薄的光源，有着较小的自吸现象，并且是无电极放电，无电极沾污。这些特点使ICP光源的分析性能非常好，和一个理想分析方法的要求相符合。
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